眼看办事能力极强,兜里又揣着无限科研经费的徐研究员,竟然对光刻机产生兴趣,当场来了七八位。
于是,顶头上司旁听,九位老学长亲自教导,徐飞不得不端正态度,认真听讲。
制造光刻机,是为了生产芯片。
聊到芯片,要从计算机说起。
当年人类造出第一台计算机,大约有三间房子大小。
为了简化,陆续诞生了电子管计算机、晶体管计算机、中小规模集成电路计算机、大规模集成电路计算机。
在这个发展过程中,计算机的体积不断缩小,能耗不断降低,运算速度不断加快,逐渐可以携带。
所以,芯片的由来,是为了缩小电路,加快运算速度。
而聊到电路,就要说一说模拟电路和数字电路,以及程序设计语言……
徐飞睡醒一觉,发现老学长们,已经讲到光刻机。
所谓的光刻机,跟福尔曼形容的差不多,就是一台‘胶卷曝光机’。
只是这台曝光机,十分先进,十分精密,从2寸底片,缩小到纳米级。
因此,曝光用的‘光源’,从灯泡缩小到激光,甚至射线、极紫外线。
相应的,分辨率也从几百万,上升到几亿像素。
胶卷的材质,扛不住这么集中的能量冲击,科学家便发明了‘掩膜板’。
然后用刻刀,把逻辑电路刻到‘掩膜版’上,形成类似剪纸的‘镂空’样式。
犹如在A4纸上剪出一个‘徐’字,贴在墙上,喷涂漆料,再揭走A4字,墙上便有了‘徐’字。
只是逻辑电路更复杂,就像在A4纸上写10万个‘徐’,和写10亿个‘徐’的难度,肯定不一样。
不仅要缩小字体,还要缩小字与字之间的距离。
这个距离,便是‘制程’,目前最先进的为128纳米。
刻画出‘掩膜版’,等于纳鞋底有了鞋印子。
接下来就是‘曝光’。
掩膜版上的线路,都是纳米级,若想让光线穿透的均匀,势必要用更细的‘光’,才能穿过刻画出来的线路,以便再照片上形成图桉。
因此,现在用的‘光源’,叫极紫外线,也有的在用射线。
跟柯达研究反应堆一个道理。
当极紫外线穿过掩膜版的缝隙,照射到下方的照片,也就是‘晶圆’,晶圆表面的光刻胶,就会出现一个逻辑电路的影子。